Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing.
Tuominen M, Mäkelä J, Yasir M, Dahl J, Granroth S, Lehtiö JP, Félix R, Laukkanen P, Kuzmin M, Laitinen M, Punkkinen MPJ, Hedman HP, Punkkinen R, Polojärvi V, Lyytikäinen J, Tukiainen A, Guina M, Kokko K.
Tuominen M, et al. Among authors: dahl j.
ACS Appl Mater Interfaces. 2018 Dec 26;10(51):44932-44940. doi: 10.1021/acsami.8b17843. Epub 2018 Dec 14.
ACS Appl Mater Interfaces. 2018.
PMID: 30508372